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超净实验室也称超净间,根据国人的语言表达习惯也称为超净房、超净室。超净实验室顾名思义超净实验室是超级洁净的洁净室是能达到实验室标准的洁净室。
超净实验室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 超净间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造、检测、科研,此空间我们称之为超净实验室。
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